PECVD沉積系統(tǒng)招標(biāo)公告

根據(jù)《中華人民共和國招標(biāo)投標(biāo)法》等有關(guān)法律、法規(guī)的規(guī)定，本招標(biāo)項(xiàng)目有關(guān)設(shè)備（下稱招標(biāo)設(shè)備）已具備招標(biāo)條件，向社會進(jìn)行公開招開�，F(xiàn)就相關(guān)情況做如下公告。
1. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)內(nèi)容
1.1項(xiàng)目編號： CDSB2011073
1.2項(xiàng)目名稱： PECVD沉積系統(tǒng)
1.3項(xiàng)目內(nèi)容：
PECVD沉積系統(tǒng) 技術(shù)規(guī)格書
（星號部分為必須的關(guān)鍵技術(shù)要求，投標(biāo)標(biāo)書必須滿足）

1、系統(tǒng)包括石英真空室、真空抽氣與真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)、發(fā)泡系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)。

2、石英真空室包括兩個(gè)：
2.1 第一個(gè)為外徑9.5mm，內(nèi)徑6.4mm,長45mm。通過雙卡套密封與不銹鋼管道連接
2.2 第二個(gè)為外徑127mm，高71mm，壁厚4mm。通過兩個(gè)圓形不銹鋼板密封形成封閉腔室
2.3 使用氣煉高純石英玻璃。

3、真空抽氣與真空測量系統(tǒng)：
3.1 真空抽氣系統(tǒng)由分子泵、電動插板閥、機(jī)械泵構(gòu)成、復(fù)合真空計(jì)構(gòu)成。
3.2 復(fù)合真空計(jì)規(guī)管裝設(shè)于下沉積室的上蓋板。
* 3.3 分子泵抽氣速率不低于100升/分。
* 3.4 分子泵應(yīng)選用中科科儀生產(chǎn)的或進(jìn)口產(chǎn)品
* 3.5 極限真空度5.0×10-4Pa

4、壓力控制系統(tǒng)：
4.1 由與抽氣管道平行的旁路系統(tǒng)、快速響應(yīng)的通徑調(diào)節(jié)閥門、電容式薄膜真空計(jì)構(gòu)成。
4.2 電容式薄膜真空計(jì)裝設(shè)于下沉積室的上蓋板。
*4.3 選用進(jìn)口電容式薄膜真空計(jì)(德國INFICON,型號CDG025-X3，或相同類型的進(jìn)口產(chǎn)品)，標(biāo)定測量范圍0.1Pa-1333Pa。
4.4 工作壓力可以通過主控計(jì)算機(jī)進(jìn)行軟件預(yù)設(shè)，工作壓力控制精度不低于1%，調(diào)節(jié)跟蹤響應(yīng)時(shí)間不長于0.1秒，穩(wěn)定控制時(shí)間不短于30分鐘，腔室所需壓力由控制系統(tǒng)軟件預(yù)設(shè)。

5、射頻電源系統(tǒng)：
*5.1 包括兩套頻率為13.56MHz的功率不低于300W的射頻電源
*5.2 國外大廠生產(chǎn)，原產(chǎn)進(jìn)口
*5.3 電源系統(tǒng)輸出功率穩(wěn)定性≦±0.5%，長期穩(wěn)定性≦±1%。
*5.4 功率調(diào)節(jié)分辨率1W或更小。
*5.5 射頻電源可以工作于恒壓、恒流、恒功率等模式。
*5.6 帶功率自動匹配。
*5.7 可以通過主控計(jì)算機(jī)對兩套電源分別進(jìn)行控制，設(shè)定工作模式，調(diào)節(jié)功率大小。

6、氣路系統(tǒng)：
6.1 配置4個(gè)氣路
6.2 每個(gè)氣路均包含截止閥、質(zhì)量流量控制器及控制電源。
*6.3 氣路1、氣路2選用進(jìn)口（如英國warwick，美國MKS等）抗腐蝕（耐硅烷腐蝕）的質(zhì)量流量控制器，流量在0－100SCCM間可調(diào)。氮?dú)鈽?biāo)定
*6.4 氣路3、氣路4選用國內(nèi)名牌大廠（如七星華創(chuàng)）生產(chǎn)的的質(zhì)量流量控制器，流量在0－200SCCM間可調(diào)。氮?dú)鈽?biāo)定

7、發(fā)泡系統(tǒng)
7.1 包含氣路4和發(fā)泡鋼瓶、閥門管道等
7.2 鋼瓶容積不小于0.5升
7.3 鋼瓶應(yīng)具有卸壓閥門，耐壓0.5大壓

8、電氣系統(tǒng)及控制系統(tǒng)
8.1 標(biāo)準(zhǔn)電氣控制柜，配帶平面顯示的主控計(jì)算機(jī)
8.2 控制系統(tǒng)有系統(tǒng)工作框圖，能夠通過顯示器觀察記錄設(shè)備（包括分子泵、射頻電源、質(zhì)量流量控制器等）的工作狀態(tài)，閥門的開、閉狀態(tài)
8.3 具備各種互鎖功能，保護(hù)分子泵以及其它需要聯(lián)動操作的設(shè)備。

*9、各種真空管道，閥門，腔室不銹鋼蓋板、發(fā)泡鋼瓶等均需使用進(jìn)口耐腐蝕不銹鋼（如奧氏體不銹鋼，1Crl8Ni9Ti或類似型號），并在標(biāo)書中明確說明選用的材料型號及制造廠商。



1.4項(xiàng)目范圍： 見招標(biāo)文件
2. 投標(biāo)人資格要求
1、在中國境內(nèi)注冊并具有獨(dú)立法人資格的合法企業(yè)；
2、具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會計(jì)制度；
3、具有履行合同所必須的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力；
4、具有依法繳納稅收和社會保障資金的良好記錄；
5、參加本次采購活動前三年內(nèi)，在經(jīng)營活動中沒有重大違法違規(guī)記錄；
6、采購項(xiàng)目要求的特殊資格性條件(詳見招標(biāo)項(xiàng)目及要求)。
3. 招標(biāo)文件的獲取
3.1 凡有意參加投標(biāo)者，請于2011年10 月21日至2011年10月27日（法定公休日、法定節(jié)假日除外），每日上午9時(shí)至11時(shí)，下午15時(shí)至17時(shí)（北京時(shí)間，下同），在 成都市一環(huán)路南一段二十號四川大學(xué)行政樓206室持公司營業(yè)執(zhí)照復(fù)印件加蓋公章、單位介紹信加蓋公章購買招標(biāo)文件。外地投標(biāo)商需在2011年10月27日17點(diǎn)前將購買標(biāo)書的費(fèi)用轉(zhuǎn)入四川大學(xué)賬號，并將轉(zhuǎn)賬憑證、公司營業(yè)執(zhí)照、單位介紹信、購買標(biāo)號、聯(lián)系電話***
3.2 招標(biāo)文件每套售價(jià)200元，售后不退。
3.3本次招標(biāo)公告同時(shí)在四川大學(xué)設(shè)備處網(wǎng)上發(fā)布。
4. 投標(biāo)文件的遞交
4.1 投標(biāo)文件遞交的時(shí)間為：2011年10月28日09時(shí)至11時(shí)，遞交投標(biāo)文件的截止時(shí)間（投標(biāo)截止時(shí)間，下同）為2011年10月28日11時(shí)，地點(diǎn)為成都市一環(huán)路南一段二十四號四川大學(xué)行政樓206室。
4.2 逾期送達(dá)的或者未送達(dá)指定地點(diǎn)的投標(biāo)文件，招標(biāo)人不予受理。
5. 開標(biāo)時(shí)間及地點(diǎn)
5.1 開標(biāo)時(shí)間地點(diǎn)電話通知，開標(biāo)時(shí)請參與投標(biāo)方準(zhǔn)時(shí)派員出席，每一投標(biāo)單位限3名以內(nèi)代表參加。開標(biāo)時(shí)，允許各投標(biāo)人有五分鐘的口頭補(bǔ)充表述(也可以放棄)。
6. 聯(lián)系方式***
招 標(biāo) 人：四川大學(xué) 地 址：***
聯(lián) 系 人***
電 話：028-85406315 傳 真：***
戶 名：四川大學(xué)
開戶銀行：工行芷泉支行四川大學(xué)分理處
賬 號：4402217009008944562