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低壓化學(xué)氣相沉積涂層實驗裝置（JJ2017111758）網(wǎng)上競價公告 招標文件下載

信息發(fā)布日期：2017.12.14 標簽：四川省招標

招標編號：	JJ2017111758
加入日期：	2017.12.14
截止日期：	2017.12.19
招標業(yè)主：	四川大學(xué)
地區(qū)：	四川省
內(nèi) 容：	低壓化學(xué)氣相沉積涂層實驗裝置（**********）網(wǎng)上競價公告發(fā)布時間： -- :: 項目名稱低壓化學(xué)氣相沉積涂層實驗裝置項目編號********** 公告開始日期-- ::公告截止日期**-- :: 采購單

招標公告正文

低壓化學(xué)氣相沉積涂層實驗裝置（JJ2017111758）網(wǎng)上競價公告

發(fā)布時間： 2017-12-14 17:31:52

項目名稱	低壓化學(xué)氣相沉積涂層實驗裝置	項目編號	JJ2017111758
公告開始日期	2017-12-14 17:31:52	公告截止日期	2017-12-19 17:30:00
采購單位	四川大學(xué)	付款方式	付全款
聯(lián)系人***	未公布	聯(lián)系電話***	未公布
簽約時間要求	成交后15個工作日	到貨時間要求	成交后15個工作日
預(yù) 算	CNY 87000.00
收貨地址	四川大學(xué)望江校區(qū)一環(huán)路南一段24號
供應(yīng)商資質(zhì)要求	符合《政府采購法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件

采購清單 1

采購商品	采購數(shù)量	計量單位	所屬分類
低壓化學(xué)氣相沉積涂層實驗裝置	1	臺

品牌	興天宇
型號	SKZD-064-150SCB
技術(shù)參數(shù)及配置要求	1.電磁隔膜閥：a.通徑為：1/4英寸；b.工作電壓：24V交流；c.工作溫度：150℃；d.實際工作壓力：－0.1～0.3MPa；e.閥體材質(zhì)：耐酸堿腐蝕；f.安裝方向：橫式；g.類型：常開；h.頻率1300次/小時，電磁閥動作延遲時間小于0.1s。 2.冷井：內(nèi)外均采用SUS316L優(yōu)質(zhì)不銹鋼制作，體積約12.5L，內(nèi)填充活性炭、濾布等材料，對系統(tǒng)氣體進行凈化冷卻處理，使出口氣體粉末≤5μm，溫度≤30℃，壓降≤100Pa。 3.緩沖罐：內(nèi)外均采用SUS316L優(yōu)質(zhì)不銹鋼制作，體積約：28L，使高溫涂層裝置壓力穩(wěn)定度≤±100Pa。 4.真空泵：采用進口高品質(zhì)真空泵，額定抽速約4.5L/s。連續(xù)抽氣極限真空度達：0.08Pa，穩(wěn)定真空度：200Pa。耐酸堿腐蝕。當電磁閥EV2關(guān)閉，EV3打開時沉積室中壓力達到200Pa時間小于2s。 5.氣體累積器：采用進口氣體流量計，量程20L/min。 6.控制系統(tǒng)要求： a.通過控制系統(tǒng)進行參數(shù)調(diào)節(jié)，可以單獨實現(xiàn)電磁閥EV1、EV2、EV3當中任何一個的開關(guān)動作時間控制。 b.可以實現(xiàn)電磁閥EV1、EV2、EV3三個聯(lián)動控制或者其中任意兩個聯(lián)動控制。列如，電磁閥EV1先開啟2秒鐘，然后再開啟電磁閥EV2并同時關(guān)閉電磁閥EV1，電磁閥EV2開啟3秒鐘再開啟電磁閥EV3并同時關(guān)閉電磁閥EV2，電磁閥EV3開啟一定時間之后打開電磁閥EV1并關(guān)閉電磁閥EV3，如此往復(fù)循環(huán)能持續(xù)工作一定時間（10h）以上。 c.通過對電磁閥控制系統(tǒng)相應(yīng)參數(shù)的設(shè)置可以實現(xiàn)不同開關(guān)時間的循環(huán)周期。 d.不通電時電磁閥均處于開啟狀態(tài)。

四川大學(xué)

2017-12-14 17:31:52

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